东方马达
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文案
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晶圆清洗设备
利用小型·高转矩电动机、减速机及电动传动装置实现机械臂的小型化及简化配线。
晶圆旋转主轴工位
AZ系列步进伺服混合控制系统步进电动机，循环坐标功能设定，坐标管理更简易。
晶圆Pin针顶升机构的设计提案
将吸附于平台上的晶圆片通过Pin针顶起，以便于利用搬运机械手进行取、送晶圆片。
CMP设备应用提案
为摆臂机构提供精确定位控制，合理的选用响应快速的驱动源，以避免抛光过多的基材。
防止设备故障的带警报风扇
利用带警报风扇，有助于防止装置问题及故障。
自由容器
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